갈등 원인 용인반도체클러스터 사업 부지의 토지 보상률은 11%에 머물러 있고, 보상가 등을 둘러싸고 주민과 시행사가 대립하고 있다. 주민들은 현실적인 보상과 원삼면 주민의 수평이동 및 재정착 대책을 요구하고 있다.
반대측 입장 주민들은 현재 보상가로는 다른 곳으로 옮기거나 재정착하기 어렵다며 사업에 전면 반대한다고 밝혔다. 정당한 보상과 추가 보상책, 원삼면 주민의 수평이동 및 재정착을 요구하고 있다.